CS200A 數(shù)字式氣體質量流量控制器0-5sccm 

產(chǎn)品型號 CS200-A型
產(chǎn)品類型 高精度型,快響應型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾
流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
產(chǎn)品精度 ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重復精度 ±0.2% FS

CS200A 數(shù)字式氣體質量流量控制器0-5sccm 
線性 ±0.5% F.S.
響應時間 ≤1sec
工作溫度范圍 (5~45)°C
耐壓 3MPa
密封材料 氟橡膠Viton
輸入輸出信號 (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
電源 ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
閥類型 常開(流量量程≤30slm)或常閉
溫度系數(shù) Span: ≤±0.1% F.S./℃（≤30slm）,Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零點飄移指標 ＜0.6%F.S. per year without autozero
電氣連接 Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作壓差范圍 (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.）

 
漏率 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）
標準接頭形式 雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套1/8”(滿量程≤5slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產(chǎn)品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產(chǎn)品),雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”
表面化學成分 - 無 -
表面粗糙度 25µinch
抗電磁干擾 CE
重量 1Kg