氣體流量控制器（氫氣）XLRB-D07-19B

質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter縮寫為MFM)用于
對氣體的質(zhì)|量流星進行測量;質(zhì)|量流量控制器
(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的
質(zhì)|量流量進行測量和控制。它們在半導(dǎo)體WEI電
子工業(yè)、TE|種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、真空等多種領(lǐng)域的科研和中有著應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括;電子工藝設(shè)
備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺
射、離子注入;以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、WEI|
反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜
儀及其它分析儀器。

氣體流量控制器（氫氣）XLRB-D07-19B

D07-19B 型 MFC 性能指標
流量規(guī)格( 0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
流量控制范圍：2-99.99999999%ofF.S.
準|確|度±1 % F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)
線性±0.5 % F.S. (20,30SLM:±2 % F.S.J
重復(fù)精度±0.2 % F.S.
響應(yīng)時間≤2 sec
工作壓差范圍≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa(14.5~72.5 psid)
> 10SLM: 0.1~ 0.3 MPa(14.5~43.5 psid)
工作壓力≤1 MPa(145 psig)
耐壓3MPa (435.1 psig)
工作環(huán)境溫度5°C~45°C
輸入信號0V~+5.00V.(輸入阻|抗＞100K,輸出電流≯3mA)
輸出信號0V~+5.00V.(輸入阻|抗＞100K,輸出電流≯3mA)
電源+15V 50 mA; -15V 200mA
重量0.95 kg
注意:質(zhì)|量流量計和質(zhì)|量流量控制器出廠通常用氮
氣(N2)標定。
質(zhì)|量流量的單位規(guī)定為; SCCM (標準升/分);
SLM (標準升/分)
標準狀態(tài)規(guī)定為:溫度--- 273.15K (0°C );
氣壓- 101325 Pa (760mm
Hg)，單位SCCM
和"ml /min, 0°C,1atm"等同，單位SLM和"L/
min, 0°C,1atm"等同。
F.S. (Full Scale):滿量程值